Semi-conducteur Fabrication de céramique SIC Bras robotique
Les bras robotiques en céramique en carbure de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs sont des outils vraiment avancés et super importants. Ils ont beaucoup de fonctionnalités incroyables qui les rendent absolument nécessaires dans cette industrie.
Ils sont excellents pour résister à des températures élevées. Ainsi, ils peuvent fonctionner régulièrement pendant les étapes à haute température de la fabrication de semi-conducteurs, comme en ce qui concerne la croissance épitaxiale et l'implantation ionique. Ils ne seront pas déformés ou endommagés. Leur résistance chimique est également exceptionnelle. Ils peuvent gérer les produits chimiques et les gaz corrosifs qui sont utilisés dans le processus de production. Cela garantit que l'environnement de fabrication reste pur et empêche la corrosion et la contamination de se produire.
En ce qui concerne les applications, ils sont vraiment importants pour le transfert de plaquettes. Ils peuvent ramasser des plaquettes et les mettre au bon endroit entre différents équipements de processus avec précision et régulièrement. Cela aide à s'assurer que les plaquettes sont de bonne qualité. Ils sont également largement utilisés dans le traitement de précision. Ils peuvent contrôler précisément le mouvement et la position des outils de traitement, ce qui répond aux exigences de haute précision et de stabilité pour la gravure et la lithographie. De plus, ils sont bons pour les environnements de salle blanche car ils ne dégagent pas de particules ou ne libèrent pas des impuretés lorsqu'elles travaillent. Cela réduit le risque que les plaquettes soient contaminées.
Applications en fabrication de semi-conducteurs
Transfert de plaquettes : Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les plaquettes doivent être transférées entre différents équipements de processus. Le bras robotique en céramique en carbure de silicium peut ramasser et placer avec précision les plaquettes avec sa haute précision et sa fiabilité, en évitant la rupture de la plaquette et les rayures et assurer la qualité des plaquettes.
Traitement de précision: Dans certains processus de traitement de précision tels que la gravure et la lithographie, le bras robotique doit avoir une précision et une stabilité extrêmement élevées. Le bras robotique en céramique en carbure de silicium peut répondre à ces exigences et peut contrôler avec précision le mouvement et la position de l'outil de traitement pour assurer la précision et la cohérence du traitement.
Environnement de salle blanche: Le processus de fabrication de semi-conducteurs nécessite un environnement de salle blanche avec des niveaux de particules et d'impuretés extrêmement faibles. Les bras robotiques en céramique en carbure de silicium ne perdent pas de particules ou ne libèrent pas d'impuretés pendant le fonctionnement, ce qui aide à maintenir la propreté de la salle blanche et réduit le risque de contamination par la tranche.
Tendances de développement futurs
Précision et vitesse plus élevées: avec le développement continu de la technologie des semi-conducteurs, les exigences de précision et de vitesse des bras robotiques augmentent également. Les armes robotiques en céramique en carbure de silicium en silicium continueront de s'améliorer dans ces aspects pour répondre aux besoins des processus de fabrication de semi-conducteurs plus avancés.
Intelligent et automatisé: la combinaison des bras robotiques en céramique en carbure de silicium et des capteurs et des systèmes de contrôle avancés les rendra plus intelligents et automatisés. Ils pourront détecter automatiquement l'environnement et les plaquettes, prendre des décisions et des ajustements et améliorer l'efficacité et la qualité de la production.
Intégration multifonctionnelle: En plus des fonctions de base du transfert et du traitement de la plaquette, les bras robotiques en céramique en carbure de silicium futurs peuvent intégrer plus de fonctions, telles que l'inspection, le nettoyage et l'emballage de la plaquette, pour former un système intégré multifonctionnel et améliorer davantage le niveau d'automatisation et d'intégration de la fabrication de semi-conducteurs.