Alumine Bras robotique en céramique pour fabrication de plaquettes
Le bras robotique en céramique en alumine conçu spécifiquement pour la fabrication de plaquettes est un élément très avancé et crucial de l'industrie des semi-conducteurs.
Propriétés des matériaux
Ce bras robotique est principalement composé de céramique d'alumine de haute pureté. Habituellement, la quantité d'alumine est supérieure à 95%. Cela lui donne une très bonne résistance mécanique. Lors de la manipulation des plaquettes, comme lorsqu'il les positionne et les déplacez précisément, il peut gérer de gros stress et des souches.
Sa dureté Mohs est d'environ 9. Cela signifie qu'il est vraiment bon pour résister aux rayures et être usé. Ceci est vraiment important car s'il y a des dommages à sa surface, cela pourrait apporter des contaminants ou gâcher la précision de la façon dont les plaquettes sont manipulées.
Les propriétés thermiques de la céramique d'alumine sont également très importantes. Il a un coefficient de dilatation thermique assez faible, environ 6 - 8 × 10⁻⁶ / ° C. Dans la fabrication de plaquettes, le contrôle de la température est super critique. Grâce à cette taille stable lorsque la température change, le bras robotique peut faire des mouvements précis et reproductibles. Même lorsque la température monte et descend, le bras peut garder sa précision et s'assurer que les plaquettes sont placées et déplacées avec le plus haut niveau de précision.
De plus, il a une bonne conductivité thermique, qui se situe entre 15 et 30 W / (M · K). Cela permet de retirer efficacement la chaleur. Il aide à empêcher le bras et les pièces proches de devenir trop chaudes. S'ils devenaient trop chauds, cela pourrait causer des problèmes tels que des dysfonctionnements ou des dommages aux plaquettes.
Une autre caractéristique importante est son excellente isolation électrique. Sa résistivité de volume est supérieure à 10¹⁴ ω · cm. Dans l'environnement semi-conducteur, la décharge électrostatique et les interférences électriques peuvent être vraiment mauvaises pour les plaquettes et l'ensemble du processus de fabrication. Mais le bras robotique en céramique en alumine agit comme un bouclier fiable. Il fait un bon travail de séparation des courants électriques, ce qui protège les plaquettes et l'équipement électronique sensible à proximité.
Conception et fonctionnalité
La conception du bras robotique est hautement optimisée pour les tâches de fabrication de plaquettes. Il présente une structure mince et articulée qui permet un large éventail de mouvements et un positionnement précis. L'effecteur final du bras est soigneusement conçu pour gérer les plaquettes doucement et en toute sécurité. Il peut avoir un mécanisme de adhérence spécialisé, tel que l'aspiration sous vide ou les coussinets de contact doux, pour s'assurer que les plaquettes ne sont pas endommagées pendant le transfert.
Le bras robotique est également équipé de systèmes de contrôle avancés. Ces systèmes lui permettent d'effectuer des mouvements complexes et très précis, tels que l'alignement des plaquettes avec une précision microscopique. Les algorithmes de contrôle sont souvent affinés pour tenir compte des exigences spécifiques de la fabrication de plaquettes, y compris la minimisation des vibrations et la garantie d'accélération et de décélération en douceur.
Applications et avantages
Dans la fabrication de plaquettes, le bras robotique en céramique en alumine est utilisé à divers stades. Il est impliqué dans le transfert de tranches entre différentes stations de traitement, comme de la cassette de plaquette vers les chambres de dépôt ou les outils de gravure. En offrant une manipulation précise et fiable, il contribue à améliorer le rendement et la qualité globaux des plaquettes. Il réduit le risque de rupture ou de désalignement des plaquettes, ce qui pourrait entraîner des pertes de production coûteuses.
De plus, sa résistance à la corrosion chimique le rend adapté à fonctionner dans les environnements chimiques durs souvent présents dans les installations de fabrication de plaquettes. Il peut résister à l'exposition aux acides, aux alcalis et à d'autres produits chimiques utilisés dans les processus de fabrication sans se détériorer. Cette durabilité et cette fiabilité contribuent au fonctionnement continu et efficace de la ligne de fabrication de plaquettes, améliorant finalement la productivité et la compétitivité des fabricants de semi-conducteurs.